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环保型酸性蚀刻液电解再生回用新工艺及设备的开发

2012年

应用技术

中期阶段

成果简介

广州二轻工业科学技术研究所研发的酸性蚀刻液在线电解回收装置及蚀刻液再生方法，可以将蚀刻机与再生系统对接在线工作，将蚀刻机产生的Cu+离子导入电解槽阳极室，蚀刻液阳极再生的同时在阴极沉积回收蚀刻工序中的金属铜，使总铜范围维持在符合蚀刻工艺的范围，且电解再生过程中不析出氯气和氢气，无废液排放，也无需添加盐酸以及蚀刻子液等化学物质，是一种“环境友好型”工艺方法。

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