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基于柔顺机构的精密定位系统及其关键技术

2012年 基础理论
  • 成果简介
　　结合陶瓷零件的超精密磨削和天津市自然科学基金项目，以纳米级磨削微定位平台的开发为目标，较深入地研究了纳米级三自由度微定位平台的结构设计、动力学建模以及控制算法等关键技术问题，已全部完成项目认定书要求的研究内容，取得如下研究成果：
　　①基于动态设计理论，研制了一台具有姿态调整能力的纳米级磨削辅助微定位平台（技术指标：动平台直径150毫米，最大进给量12微米，进给分辨率5纳米，最大动...
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