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多通道声表面波化学传感器的研制

2012年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　声表面波化学传感器由压电材料、叉指换能器、化学薄膜、器件相关电路和检测电路构成。采用压电单晶作为基底，在基底上制作两个叉指换能器或者叉指换能器和反射栅，经逆压电效应和压电效应，分别用电信号产生声表面波和将声信号转换为电信号。在声通道上贴附敏感薄膜，薄膜吸附化学物质后引起器件振荡频率、振幅和相位变化，通过检测其变化，可检测化学物质的成分和浓度。目前国内外通常采用双通道结构，一个通道用于对环境温度...
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