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新型多晶制备还原电气系统

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　我公司与北京交通大学合作的新型多晶制备还原电气系统是国内首套直流多晶硅还原电源系统，打破了国外对直流多晶制备还原电气产品的垄断。
　　新型多晶制备还原电气系统，技术方面有如下创新点：
　　1、采用高频的斩波方案，实现了国内首套直流多晶硅还原电源系统。
　　2、采用组合串并联的方式，优化电路结构，实现超宽输出电压范围内的高精度控制。
　　3、采用新...
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