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SVⅢ系列大型连续式镀膜生产线

2004年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目是一条大型连续式高档STN-LCD用ITO薄膜生产线。该线充分利用公司自行研制开发的中频（MF）反应磁控溅射设备制备SiO_2薄膜的技术，成功实现了与氧化铟锡（ITO）膜的在线联镀。
STN-ITO导电玻璃是由超薄浮法玻璃、SiO_2膜以及ITO膜组成，其中SiO_2膜的作用是作为透明阻挡层可有效的防止玻璃中的碱金属离子（主要是Na^+）扩散到ITO膜层中，影响导...

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