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φ4″超薄单晶硅磨片

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一、课题来源与背景
为了满足国内超快恢复二极管生产所需超薄单晶硅磨片的需求，替代进口超薄单晶硅磨片，缩小国产超薄单晶硅磨片与国外同类产品的差距，我公司自选了φ4″超薄单晶硅磨片研究、开发课题。
二、技术原理及性能指标
对国产半导体专用设备如切片机、磨片机进行技术改造，采用微机程序控制和机械张刀技术，重点解决了刀片张力均匀，刀片同心...
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