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纳米台阶高度标准物质

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
通过微纳加工技术与硅片热生长工艺相结合制备名义值分别为50nm、100nm、200nm、500nm和1000nm的台阶高度标准物质。采用绝对测量法对系列台阶高度标准物质样板单元进行逐一定值，定值系统为纳米几何结构标准装置，计量型原子力显微镜纳米测量系统测量结果直接溯源到激光波长和国际单位制。本系列台阶高度标准物质不确定度达到国际先进水平，均匀性和稳定性检验根据标准物质管理办法和一级标准物质...
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