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高精度气浮平台的动力学与控制研究

2011年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本项目在综合分析国内外超精密定位工作台的结构、悬浮方式、控制特点等方面的理论、研究意义、发展现状和趋势的基础上，对高精度气浮定位平台的气浮结构与原理、定位平台的动力学特性、气浮平台直线运动的控制方法和定位精度进行了深入的理论研究和实验验证。主要研究内容包括：高精度定位平台气浮支承的工作原理和气浮特性的研究；高精度气浮定位平台运动学和动力学数学模型的建立；高精度气浮定位平台的动力学特性研究；...
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