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Cr-Me-N纳米多层调幅结构薄膜增韧机制研究

2011年

基础理论

成果简介

本项目在国内外同行的研究基础上，采用封闭磁场非平衡磁控溅射离子镀设备制备出具有不同内插层的CrN/MeN或CrN/Me纳米多层调幅结构薄膜。该复合镀层通过控制OEM（Optical Emission Monitor，光谱发射监控仪）值来动态闭环调节氮气流量，以精确控制氮气流量而制备出掺杂Al、Nb等元素的纳米多层调幅结构薄膜和复合膜。在制备出掺杂Me的薄膜上用压入法研究薄膜韧性和增韧机理。...

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