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分子泵专用变频器

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
①课题来源与背景；
真空获得技术是产生各类真空环境的基础技术，广泛服务于有真空要求的科学技术研究和国民经济发展的众多领域，如真空冶金、食品包装、电子工业、表面工程等。多年来，人们根据不同的使用要求和工作原理设计制作了多种真空获得产品，其中分子泵、离子泵是获得高真空和超高真空环境的关键设备之一，而涡轮式异步电机是分子泵、离子泵所必须的关键组件。
国外的...
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