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单晶炉高频制备电源

2011年

应用技术

中期阶段

成果简介

我公司自主开发的单晶硅高频制备电源主要应用于单晶硅炉加热，及其它电解、电镀、电泳等需要高频直流电源的场合。该电源设计时充分考虑我国电网质量差，三项不平衡严重的问题，使用电压范围广，对电网污染小，该电源符合EN 55011 CLASSA的电磁兼容性标准要求，电磁辐射小对其他设备无影响。该电源采用原装进口IGBT及超快恢复二极管等功率器件，配以特效高频变压器，具有体积小、重量轻、效率高等优点，...

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