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高效、低成本、低污染高纯多晶硅沉积和生产工艺研究

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1.课题来源背景
青海省科技成果推广及企业技术创新资金项目：《高效、低成本、低污染太阳能级多晶硅生产工艺研究》（项目编号2008-J-527）和《高纯硅沉积和晶体生长集成化工艺研究》（项目编号2008-G-Q18）。
2.技术原来及性能指标
该项目应用于高纯太阳能级多晶硅的生产当中，在“改良西门子法”的基础上通过对三氯氢硅(TCS...
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