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基于MEMS技术的耐高温微型高频动态压阻式压力传感器

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目属电子技术与仪器仪表领域。针对我国军工、医学、大坝、桥梁、建筑等行业对具有原位测量、抗干扰、动态特性好、精度高等优异性能的高温微型高频动态传感器的需求，开展此类传感器的研究。提出了复杂结构的微机械设计技术与双面腐蚀成型的梁－岛－膜复合结构工艺技术，得到高线性精度；提出了改良耐高温微型低成本压力传感器的方法，使传感器的测量温度提高到350℃，且具有性能可靠、工作稳定、耐高温零点漂移小等优点...
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