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微机电系统中传感信号处理结构的设计与研制

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
在微/纳电子系统中，传统传感器信号处理技术已经难以适应微弱信号检测的要求，寻求新型传感信号处理方法，已经引起学术界的广泛关注。本研究项目主要思想是设计一种电信号直接输出的压力传感器，并利用pn结反向隧穿电流对应的超高电导特性对所采集信号进行放大；核心研究内容是建立一套适合微/纳尺度传感信号处理接口的设计理论和实现方法，包括：(1)具有电信号输出悬臂梁结构压力传感器的设计，包括利用电流驱动方...
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