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平板显示屏刻蚀液技术的研究与开发

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

项目产品技术ITO刻蚀液是一种高效、高刻蚀精度、无刺激气味的湿化学品。其作用是在PDP制备过程中，为使获得所需的各种像素的精细图像，使用ITO刻蚀液对ITO膜同作为掩膜的光致抗蚀剂一起用刻蚀液进行刻蚀，然后将剩余的光致抗蚀剂剥离除去，即可在基板上形成电极图案。在ITO刻蚀液技术的研发中，项目单位实现了一系列的技术创新：
创新了ITO刻蚀液技术的主配发及配方比例。选用草酸...

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