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原子沉积纳米光栅计量溯源表征技术研究

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　课题来源与背景：
　　《原子沉积纳米光栅计量溯源表征技术研究》是由上海市计量测试技术研究院和同济大学共同承担的上海市科学技术委员会的纳米专项。本课题利用激光汇聚冷原子沉积纳米结构的方法研制纳米计量标准，并实现对其尺寸特征的表征与测量，并解决了测量和表征中的技术难点。建立了基于冷原子沉积光栅的纳米量值传递体系，为我国微纳米产业的发展突破提供保障，使得高新技术行业的尺寸测量有据可依，有...
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