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等离子增强型化学气相沉积（PECVD）设备

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　由于硅基薄膜太阳能电池每瓦成本相对较低，且受日照条件影响较小、可吸收散射光、可挠性与可制作大面积太阳电池、生产过程能耗低等特性，逐步得到人们的关注，预计薄膜电池每年将增加其市场的占有率。目前全球大多数的非晶硅薄膜太阳能电池厂商已将非晶/微晶硅基叠层薄膜太阳能电池作为今后几年的发展重点，“十二五”期间也必将是我国硅薄膜电池产业快速发展的关键时期。非晶微晶叠层薄膜电池的大规模量产必将带动薄膜电池设...
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