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电容式加速度计

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种电容式加速度计，包括具有上端盖极板的上端盖、有下端盖极板的下端盖、具有质量块极板上极板和质量块下极板的质量块、圆筒体和八根弹性支杆，所述的上端盖和下端盖与圆筒体相结合，将所述的弹性支杆固定，所述的质量块通过所述的弹性支杆与所述的圆筒体连接，形成敏感运动机构；所述的上端盖极板、下端盖极板、质量块上极板、质量块下极板都具有多块相互间隔的扇形子电极，这些扇形子电极使所述的上端盖极板、下端盖极板分...
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