首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法，所述平移对称标记由X方向平移对称光栅标记和Y方向平移对称光栅标记组成，该平移对称型光栅标记的一个周期的结构是：每一个周期由平行的依次的无间隔排列的10个具有一定宽度的线条区域组成，所述的第1和第6为不透光区域，所述的第2、第4、第8和第10为180°相移透光区域，所述的第3、第5、第7和第9为0°相移的透光区域。利用该平移对称型相移掩模光栅标...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统