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干涉仪主镜调整机构及其制备方法

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种干涉仪主镜调整机构及其制备方法，该干涉仪主镜调整机构由螺纹套筒、调节凸台、N个调节螺栓、N个球面垫圈、N个弹簧垫圈、N个螺钉、主镜和主镜镜框构成，其中N为2以上的正整数：本发明是高精度、高稳定性两维角度调整机构，不需要对主镜进行修配，通过简单的调整，即可解决了主镜球心像光轴与棱镜组光轴在同一理想光轴上的拟合，是实现高精度干涉测量必备条件。本发明具有结构简单、安装调整方便、制造成本低和稳定性...
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