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从背面引电极的碲镉汞长波红外光电导探测器

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种从背面引电极的碲镉汞长波红外光电导探测器,器件结构包括:采用激光打孔机打的直径为60微米面阵的微孔中含有电镀金的蓝宝石衬底;双面精抛处理且长阳极氧化膜的碲镉汞材料晶片,其中与环氧树脂胶接触的一面增加了一层ZnS抗反膜;把有ZnS的碲镉汞材料面粘结在衬底上的环氧树脂胶;在刻穿碲镉汞晶片后溶解掉环氧树脂胶,形成的与电镀金相对应的面阵及周围部分碲镉汞上的电极。电极通过井伸工艺连接碲镉汞与电镀...
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