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光刻机系列

2010年

应用技术

成果简介

　　1、URE-2000A/B型光刻机：该机采用i线紫外曝光光源，光学吨度年个采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统(可同时使用)，曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简单。
　　2、RE-2000/25型光刻机：球气浮实现高精度调平；超精密手轮对准调节，单片机控制...

相关成果

1. URE系列光刻机
2. URE-2000系列紫外深度光刻机
3. 接近式光刻机
4. 纳米压印光刻机
5. I线深度光刻机
6. 步进投影数字光刻机
7. 全息计算机光刻机
8. 无掩膜（直写式）光刻机
9. 先进封装投影光刻机
10. 光刻机定位双频激光干涉仪
12. 1微米分步重复投影光刻机
13. BG-102分步光刻机
14. 光刻机成像质量的检测方法
15. 光刻机成像质量的检测方法
16. URE-2000S紫外单、双面深度光刻机
17. 100nm步进扫描投影光刻机光刻仿真
18. 一种光刻机硅片台双台交换系统
19. URE-2000S/25型双面紫外光刻机
20. BKJ100-2B型接触/接近式光刻机
21. 用于测量光刻机像场弯曲分布的装置和方法
22. BKJ100－B型半自动接触/接近式光刻机
23. URE—2000A型i线深度曝光光刻机
24. 用于电子器件和薄膜电器生产的接近式光刻机
25. 1.5～2微米实用型分步重复投影光刻机
26. 用于投影扫描光刻机的对准方法及微器件制造方法
27. 光刻机抗蚀剂成像仿真三维交互显示系统
28. 一种投影式光刻机中硅片平台高度控制系统及方法
29. 光刻机投影物镜彗差原位检测系统及检测方法
30. 光刻机离轴水平和对焦探测控制系统及其实现方法
31. ULP系列理瓶机系列
32. WXR系列涡旋制冷机系列
33. W系列、SJ系列絮凝剂
34. 大豆肽酒系列及肽系列
35. 痹证系列药、脾胃病系列药
36. 无缝卡装全包边门壳系列冷藏冷冻箱WYM系列/YM/A系列/S/L系列/8E系列
37. 云母钛彩虹系列/铁系列/钛着色系列珠光颜料
38. 胶基糖系列产品(口香糖系列、泡泡糖系列)
39. DWK系列、ZWK系列温控伴热电缆
40. ED系列和MLF系列探伤仪
41. 绿豆系列
42. 系列玩具
43. 系列采泥器
44. 系列消泡剂
45. 锂铁电池系列、锂离子电池系列及超级电容器系列
46. ZDB系列、HDB系列轴流、混流潜水电泵
47. 系列超细功能氧化锌系列产品
48. ZB系列链板、BG系列板式给矿机器
49. WNS系列、LHS系列燃油燃气锅炉
50. ZFS系列、QROS系列海水淡化装置
51. DBR系列、ZBR系列自限温伴热带
52. 天麻系列产品（GEP系列）生产技术
53. N系列、TG系列及C系列不间断电源供电系统
54. 山特N系列、TG系列及C系列不间断电源供电系统
55. 惰齿轮轴系列、汽门导管系列
56. 永磁同步无齿曳引机（Diana系列、WWTY系列）
57. MT系列，TJ系列专用离子交换树脂
58. KRW系列矿热炉微机控制系列
59. LED大屏幕系列显示屏系列产品
60. 初乳系列产品及UHT奶系列产品
61. 数控加工用系列铣刀片——封闭槽系列刀片
62. 系列纯铜和系列铅黄铜标准样品的研制
63. 系列铋黄铜、系列铁青铜标准样品的研制
64. 沙漠窗机系列
65. 卡通彩电系列
66. 智能系列电脑
67. 育龙系列电脑
68. 全平彩电系列
69. 卡通系列电脑
70. 航空灯系列
71. 繁星系列
72. UPS系列电源
73. 系列营养挂面
74. 南瓜系列食品
75. 系列导电塑料
76. 广告机系列
77. 系列番茄品种
78. 玉米系列食品
79. 速食豆腐系列
80. 阳光织物系列
81. 电池材料系列
82. 控制电缆系列
83. 绞股蓝系列酒
84. 补品系列
85. NJ系列减摇鳍
86. 低温容器系列
87. 装载计算系列
88. 系列尿液试纸
89. ZGK系列转鼓
90. 弱酸系列染料
91. DDM系列锚具
92. 90系列油漆
93. STD系列软件
94. 白酒系列香精
95. 新型系列犁
96. 系列纸质火箭
97. 《智力方》系列
98. 油辣椒系列
99. 新奇系列笔
100. 乙肝系列药

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