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新型非制冷红外焦平面探测器芯片设计与制造技术

2010年

应用技术

成果简介

　　本芯片采用MEMS阵列结构，结合非接触全场光学信号读出方法，具有完全自主的知识产权和实际应用价值。
　　1、应用领域：安保、电力、医疗、汽车。
　　2、技术指标：NETD=100mk，320X240阵列。
　　3、创新内容：首次提出全镂空双材料悬臂梁阵列结构，消除了国外同类型非制冷MEMS红外焦平面阵列中的硅衬底，降低红外辐射衰减约40%左右，大大提高了器件...

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