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SOI硅压阻式压力传感器

2010年 应用技术
  • 成果简介
　　一、项目概述
　　硅压阻式压力传感器在民用及国防中得到了广泛的应用，国内已有专门从事压力传感器生产的企业，创造出了突出的业绩。在传感器的性能及价格方面，目前国内能够生产的压力传感器主要属低端和中端产品，生产数量很多，经济效益不明显。经过近十年的研究，现已突破了高端产品的技术瓶颈，研制出了高性能的压力传感器。该传感器采用压阻式工作原理，用SOI材料制作压力敏感元件，采用半导体平面工艺...
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