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直流辉光等离子体生产金刚石片技术

2010年 应用技术
  • 成果简介
　　金刚石集多种优异的材料特性于一身，是一种新型特种多功能材料。气相法合成技术使金刚石优异的物理化学性能得以充分的发挥，尤其在高技术领域中有着广泛的应用前景。本技术是利用高气压直流等离子体化学气相沉积技术生产高质量的金刚石片，技术特点是大功率脉冲运行来产生高气压辉光等离子体、金刚石片生长速率高和面积大。在国家自然科学基金、国家863基金及省部级基金的支持下，经过20年持续的技术开发、积累，目前我们...
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