首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

DMD数字微镜投影光刻系统研究

2011年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　项目采用微反射镜空间光调制光束快速偏转，以数字化掩模方式可实现高精细高分辨率缩微图形和微细灰阶图像的成像投影直接光刻，并可直接制作衍射光学元件；设计了高分辨率数字微镜芯片激光照明的均化整形、物面转移投影成像光学系统和 1：1 干涉成像光学系统；采用高质量的微距照相机镜头和数值孔径照相机镜头组，实现了激光并行直写缩微投影成像光刻和干涉成像高分辨率数字全息面阵光刻；编制了专用的数字图像数据处理和光...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统