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基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
技术领域
本发明属于光电检测技术领域，涉及一种直拉法生产单晶硅时硅棒直径的测量方法，具体涉及一种以霍夫变换为核心的硅棒直径的图像测量方法。
背景技术
硅单晶作为半导体工业的主要基础材料，对半导体工业的发展起到了举足轻重的作用，目前直拉法是制造单晶硅的主要方法。在直拉法制造单晶硅的过程中，保证晶体等直径生长是单晶制造的基本要求，因此...
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