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低电阻温度系数TaN薄膜材料及微波功率薄膜电阻器研究

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1.任务来源：
电子薄膜与集成器件国家重点实验室基金，项目名称：低电阻温度系数TaN薄膜材料及微波功率薄膜电阻器研究，项目编号：KFJJ200804。
2.技术原理及性能指标
（1）技术原理：
采用反应磁控溅射法制备TaN薄膜材料，通过控制溅射气氛中氮气浓度、薄膜厚度、Al掺杂以及TaN/Al多层膜等技术，控制...

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