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机载设备新型光学传感器件制作原理及方法研究

2011年

基础理论

成果简介

本成果来源于航空科学基金项目“机载设备新型光学传感器件制作与应用技术的研究”（NO.2004ZI56010）。
本成果在国内首次建立了DMD数字化灰度掩模制作原理系统，该系统采用数字微镜器件DMD代替传统掩模。计算机输出的掩模经视频卡以二进制数字形式输入到DMD芯片上。图形的灰阶不同，DMD 每个微镜的偏转频率不同，投影精缩后在光刻胶基片上各点曝光强度也不相同。由于整张...

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