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蓝宝石基BST薄膜的制备技术的研究

2011年

应用技术

初期阶段

成果简介

采用激光脉冲沉积制备缓冲层、阻挡层和钛酸锶钡薄膜，Ｘ射线衍射仪进行结构分析，铁电测试仪、C-V测试仪进行电学性能测量。研究温度、气压，脉冲频率与薄膜结构和物理性能的关系。制备MgO、CeO2等缓冲层，研究沉积工艺对缓冲层的取向和结晶质量的控制作用。研究沉积参数（如：沉积温度，沉积气压，沉积功率）对缓冲层薄膜结构、成分的影响规律。BST与缓冲层界面特性的研究。高性能铁电材料在压控微波器件上有...

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