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与半导体铜工艺兼容的硅基铁电电容器的集成研究

2011年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本项目来源于河北省自然科学基金资助项目 “与半导体铜工艺兼容的硅基铁电电容器的集成研究”（编号：E2008000620）。
铁电随机存储器（FeRAM) 具有抗辐射、存取速度快、功耗低等特点，它不像我们现在每天使用的计算机一样，即使在断电、系统损坏的情况下，数据还会保留在计算机中，这对于特殊的部门，保持绝对重要的数据具有巨大意义。另外，在0.13微米以下的设计标准下，铝...
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