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晶圆点缺陷形状分析系统[简称：Defect Analysis]V1.0

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

软件采用VC2005/2008进行编程，代码实现效率高，适用于半导体海量数据挖掘领域，软件主要实现了以下几种点缺陷形状的识别分析：
1. 圆形点缺陷形状
2. 矩形点缺陷形状
3. 圆环形（面包圈）行点缺陷形状
4. 月牙形点缺陷形状
5. 弧形点缺陷形状
6. 组合点缺...

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