首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

集成电路级TDR120A-ZJS大直径全自动直拉式单晶生长炉

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
集成电路级TDR120A-ZJS大直径全自动直拉式单晶生长炉是一种制备集成电路级8-12英寸大直径硅单晶体的设备。该设备的原理如下：在单晶炉的炉体内保持一定的真空条件，将高纯的多晶硅材料置于坩埚内加热使之熔化，用固定在提拉头软轴上的籽晶与熔融的多晶硅料相熔接，然后以一定的速度旋转并垂直向上提拉，晶体便在籽晶下端不断生长并最终形成硅单晶棒。TDR120A-ZJS全自动直拉式单晶生长炉实现了从...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统