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高G/R直拉太阳能级掺氮单晶硅工艺研究

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目针对太阳能级直拉硅单晶产业化进程中的三个问题,在单晶炉采用复合式加热器系统和热屏系统;采用掺氮工艺在太阳能级硅单晶大规模生产应用;以及采用优化制备工艺研制出高性能直拉太阳能级掺氮单晶硅。项目的实施,将解决目前太阳能级直拉硅单晶产业化进程中所面临的成本普遍偏高,质量偏低问题。...
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