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太阳能硅片多线切割机研制及应用

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一、任务来源
　　1.湖南省重点科技计划项目（湘财企指[2009]66号）（2009CK2005）；
　　2.国家中小型企业创新基金重点项目[09C26214305022]；
　　3.国家发改委科研项目（发改投资[20091168号]）（湘发改高技[2009]596号；
　　4.国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”课题[2009...
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