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钛酸锶钡薄膜材料及电备方法

2010年 应用技术
  • 成果简介
钛酸银钡(BaxSr1-xTiO3)薄膜材料由于其优越的介电/铁电性能和阻档性能，在下一代动态随机存储器、钇钡铜氧涂层导体等方面具有广泛的应用前景。目前，人们为了获得它，采用了多种制备方法。如在2000年9月27日公布的中国发明专利申请公开说明书CN1267653A中披露了一种“钛酸锶钡薄膜材料的制备方法”。这种制备方法存在着不足之处，首先，制备出的钛酸锶钡薄膜材料的取向性不好，尤为当钡的...
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