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6英寸等离子体增强化学气相沉积设备

2010年

应用技术

成果简介

等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）设备作为薄膜沉积市场的主流产品，全球市场一直被美国、日本所垄断。国外12英寸PECVD设备已经基本成熟，而此前我国尚没有生产型6英寸设备，生产线上应用的全部为进口设备。开发集成电路制造关键装备、掌握具有自主知识产权的成套先进工艺，对于我国摆脱高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况，降低生产设备采购成本，确保国防安全和经济安全具有重要的意义。 ...

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