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JP-3000型磁控溅射镀膜机

2007年 应用技术
  • 成果简介
该设备是为满足国防工程的特定需求，为飞机透明座舱整流罩真空镀膜而研制的专用设备。该设备采用无油低温泵高真空系统，无返油，具有较高的极限真空度和工作真空度。由计算机控制的质量流量控制器，可以准确地对工作气体流量进行比例设定，稳定控制真空室体中的反应气氛，保证了气体流量及室体真空度的稳定，从而保证了真空镀膜膜层的光学性能和导电性能。设备采用了国内首创的七轴机器人握持小型磁控溅射靶移动扫描镀膜和...
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