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多晶硅还原炉用大直径垫片

2010年 应用技术
  • 成果简介
普通的聚四氟乙烯虽然具有优异的耐腐蚀性能，但其蠕变率达到60％，而传统大直径垫片由于受板材限制，接口处采用搭接形式拼接，因其搭接处密度高于其他非搭出处，因此聚四氟乙烯大直径垫片在多晶硅还原炉用高温工况下使用时，由于其蠕变性大、且搭接口缺陷，容易造成“跑、冒、滴、漏”、以及使用寿命短的缺陷。为了解决这些不足，公司特开发研制了多晶硅还原炉用大直径垫片，并被列入浙江省2009年省级新产品试制试生...
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