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等离子体材料处理的基础和应用研究

2010年

应用技术

成果简介

中科院物理所等离子体课题组二十多年来一直从事等离子体领域的理论研究与实际应用，长期以来从事等离子体及等离子体材料表面改性研究工作。利用自行研制的多元弧等离子体全方位离子注入与沉积的表面处理装置成功制备出多种硬质薄膜材料如金属（钛、锆、钽）的氮化物及三元体系（TiCN、TiZrN、TiTaN等），这些研究成果多数已达到国际先进水平。将TiN、TaN涂层应用于生物医用材料（医用不锈钢、钛合金）...

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