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固体射频电源

2010年

应用技术

成果简介

1. 射频功率源工作电压：DC12V～32V连续可调；
2. 最大工作电流：在输出1KW时≤45A；
3. 在额定输出功率1KW时，直流消耗功率≤1.3KW；
4. 射频输出功率：0W～1KW连续可调；
5. 频率：13.56MHz；
6. 阻抗匹配范围：（2～5）Ω±j（0～50）Ω； <...

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