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高转换效率晶体硅太阳电池用碳氮化硅薄膜的制备技术

2010年 应用技术
  • 成果简介
通过等离子体增强化学气相沉积的方法在单晶硅或多晶硅太阳电池表面沉积氮化硅薄膜是制备高效率晶体硅太阳电池的重要工艺之一。沉积氮化硅薄膜的作用有降低表面反射率、表面钝化和体钝化的作用。
目前，国际工业界主要采用的是氮化硅薄膜，其特点就是薄膜质量稳定、钝化效果好，但是其缺点则由于其折射率较低而导致减反射效果较差。我们研究中心则利用相同的沉积设备开发出一种新型的减反射钝化薄膜，...
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