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重复加料生长晶体的装置及方法

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
该项目主要应用于生长单晶硅的过程之中，通过一种先进的装置及方法，使其可以大幅度增加经济与社会效益的项目。
使用石英加料管向石英坩埚里加入块状多晶硅料，对于一个石英坩埚，不仅一次加料多，而且能够多次重复加料。这对于生产单晶硅来说，提高一次装料量，生长出的单晶硅棒质量好、单晶硅棒的电阻率高。提高了产量，降低了损耗，降低了成本。多次重复加入块状多晶硅料。在同一个石英坩埚中，可...
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