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AES和XPS横向分辨率测定国家标准的制订

2010年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本课题来源于上海市质量技术监督局项目。
固体表面分析已发展为一种常用的仪器分析方法，特别是对于固体材料的分析和元素化学价态分析。目前常用的表面成分分析方法有：X射线光电子能谱（XPS），俄歇电子能谱（AES），静态二次离子质谱（SIMS）和离子散射谱（ISS）。AES分析主要应用于物理方面的固体材料科学的研究，而XPS的应用面则广泛得多，更适合于化学和材料领域的研究。S...

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