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嵌入式Flash存储器工艺模块

2010年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本课题的目标是开发出与标准CMOS工艺兼容的FLASH存储器工艺模块，使得FLASH存储器可以“即插即用”，从而在一块芯片上完成以往多块芯片才能完成的功能，为实现单芯片系统（SOC，System on chip）提供有力的工艺手段。
经过两年多来的努力，一种适合于大生产的0.25um嵌入式FLASH工艺已开发完成。本工艺是基于上海华虹NEC电子有限公司8寸生产线、在其0...

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