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一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器

2010年

应用技术

初期阶段

成果简介

本发明涉及一种扫描探针声学显微成像用低频、高灵敏度、收发两用型传感器。所述的传感器是由高灵敏的机?电能量敏感元件、相关机械结构组成。所述的传感器工作频率范围：2-30kHz，比通常的声学成像模式工作频率(几百kHz-几十MHz)低1-3个数量级，它基于扫描探针声学显微镜 (SPAM)的低频高分辨率的工作模式，用该探测器使成像系统分辨率可达到5nm，图像清晰，对比度高。...

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