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一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法

2010年

应用技术

初期阶段

成果简介

涉及一种低通量微阵列生物芯片的制备装置，利用硅深反应离子刻蚀和微机电加工系统技术在硅基上制作含有进样吃到、微通道、微贮液池和微喷口等微结构，根据磁致驱动原理制作驱动器，并用于驱动PDMS弹性薄膜，采用PDMS和环氧树脂将制成的独立部件进行封装而成。...

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