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倾斜沉积镀膜装置

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于电子枪蒸发镀膜机内镀制雕塑薄膜的倾斜沉积镀膜装置,包括安装架、球冠形夹具和楔形块,还有套筒、步进电机、步进电机驱动器和计算机,该安装架将该装置安装在镀膜机的真空室内;该楔形块根据倾斜角度进行设计;该可拆卸套筒用于连接步进电机和球冠形夹具;该步进电机用于控制球冠形夹具的匀速转动;步进电机通过电缆与驱动器相连,驱动器通过电缆与计算机相连,计算机通过已有程序控制夹具的转速。本发明主动引入...
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