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双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法，该装置包括搭建在镀膜机真空室外的半导体激光器、双光束分束准直器、晶控仪、位敏光电探测仪、A/D采集卡和计算机，以及安装在正空室内的第三反射镜，晶控探头。半导体激光光束经过双光束分束准直器分为两束平行光，通过镀膜机观察窗口进入镀膜室，调整入射光照射到待测基片上，两束反射光经反射镜调整方向后由观察窗口出来，被位敏光电探测器接收，计算机实时采...
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