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新型多通道声表面波气体传感器研究

2010年 基础理论
  • 成果简介
　　本项目为国家自然科学基金资助项目，研制的多通道声表面波气体传感器，可同时检测多种气体，检测浓度达到ppm量级。其由压电基底、叉指换能器、敏感薄膜和相关电路构成，其中一个通道用于环境补偿，其余通道贴附不同敏感薄膜用于测量。薄膜吸附气体使声表面波的频率、振幅和相位发生变化，不同材料和切向的基底及不同敏感薄膜组合可检测不同气体的种类和浓度。
　　完成的主要工作包括：
　　1...
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